電子特氣供應系統如何設計與施工
發布時間：
2024-05-27 14:05
電子特種氣體是電子工業的“血液”，是半導體生產制造中不可或缺的關鍵性材料，同時也是集成電路制造中的第二大原材料，其占比僅次于硅片，占晶圓制造成本的13%。其在半導體產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、也將面板、LED及光伏等材料的“糧食“和”源”。
通常而言，特氣輸送系統是將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制，通過管道、無二次污染、穩定的輸送到工藝設備的用氣點，其基本流程是：氣源、控制柜、管道傳輸、VMB、用氣點。
?
除了選擇合適的特氣系統之外，還需要打造一個良好的特氣輸送環境。特氣房一般都獨立于主場房而單獨建設，其規劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等，而且需要有良好的通風條件。可根據氣體性質宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間等。其中，低蒸汽壓力特種氣體供應設施應盡可能靠近工藝設備。
?
選擇好特氣房，便是管道系統的設計。在設計之前，首先要選好材料，特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。此次是主管路系統，在確定好氣體房和用氣點以后，主管路系統一般遵循管道線路最短，拐彎最少的原則，布置緊湊合理，給人簡單美觀的感覺。輸送系統的數量和管徑的大小一般根據機臺用氣點的多少和流量大小確定。同時管道的設計要采用零死區設計，即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。最后，管道還要有良好的接地。總體而言，管道系統的設計需充分了解氣體特性、從而合理配置系統，合理選擇管徑和材料，是我們設計的重點，這樣可顯著降低整個系統的成本。
特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。最后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。其現場基本的施工程序為：施工圖紙會審、施工組織編寫、預制間的搭設、施工機具的準備、施工人員的培訓、預制圖紙的編寫、管道的預制、管道的現場安裝、系統檢測和系統驗收等環節。
相關新聞
- 聯系我們
聯系電話
聯系電話
15853332398
電子郵箱
電子郵箱
sdztkjsw@qq.com
關注我們
關注我們
掃碼關注我們
- 返回頂部